Leistungsstarke Ultrahochauflösende Inspektion zur Erkennung kleinster Fehler
○Die aufgeführten Werte sind Konstruktionswerte.
○Das Auflösungsvermögen wird aus MTF berechnet.
○Die Schärfentiefe ist ein berechneter Wert unter Verwendung eines zulässigen Zerstreuungskreises von 40μm