미세한 결함을 검출하는 초고정세 검사에 성능을 발휘
○기재 수치는 설계치입니다. ○분해능은 MTF로부터 산출하고 있습니다. ○피사계 심도는 1/2형 카메라 수평 320 TV라인 해상 레벨을 상정한 계산치(최소 착란원 40μm)
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