동축낙사 조명 부착 줌으로 실리콘 웨이퍼, 기판 등 광시야로부터 고배율까지 자유자재한 애플리케이션에 대응
○기재 수치는 설계치입니다. ○분해능은 파장 550㎚에서의 이론 분해능 ○피사계 심도는 1/2CCD 수평 320 TV라인 해상 레벨을 상정한 계산치(최소 착란원 40μm)
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